仪器设备
场发射电子探针 JXA-8530F Plus
型号:

JXA-8530F Plus

厂商:

日本电子株式会社,JEOL Co. ltd.

地点:

科研公共服务条件平台测试中心楼C105

联系:

张勋高,马丽娅

技术参数

二次电子像分辨率:≤3 nm (30 kV);
背散射电子像分辨率:可清晰分辨黄铜的ab

加速电压: 0 ~ 30 kV;束流范围:10-12 ~ 3×10-6 A

图像放大倍数:×40~×300,000;

波谱(WDS)系统:五道谱;元素范围:4Be - 92U;分辨率Mn K 优于9 eV;

能谱(EDS)系统:(ELECT SUPER,70 mm2, EDAX Inc. USA), 电制冷型(无需液氮,随时可用);元素范围: 4Be - 92U;分辨率Mn K 优于129eV

功能特色

(1)微区的表面形貌分析:包括二次电子SEI、背散射BSE、拓扑TOPO以及阴极发光CL图像;

(2)微区成分准确定量分析:波谱分析精度好于1%(主元素, 含量>5%)和5%(次要元素, 含量~1%);元素的定性、线、面分布。

(3)适合块状、片状、颗粒状、薄膜状、纤维状样品微区(微米/亚微米区域)成分的定性和定量分析,可满足地质样品、光纤、微电子芯片、各类金属材料的分析要求。

测试案例


收费标准

校外,WDS/EDS/图像/元素面线分布,(700元/小时);

校内,WDS/EDS/图像/元素面线分布,(420元/小时);

校外,点分析(100元/点)批量样品定量分析(适用);

校内,点分析(60元/点)批量样品定量分析(适用);

前处理---喷碳(200元/次);

前处理---喷Pt(100元/次);

样品要求

(1)送检样品应为干燥的固体、块状、片状、纤维状或粉末状,应有一定的化学、物理稳定性,在真空中及电子束轰击下不会挥发或变形;

(2)无磁性、放射性和腐蚀性;

(3)对于导电性差的样品,观察图像样品应预先喷金膜;定量分析的样品应预喷碳处理;

(4)异形块状样品请现场咨询。

Q&A