二次电子像分辨率：≤3 nm (30 kV)；
背散射电子像分辨率：可清晰分辨黄铜的a、b相

加速电压： 0 ～ 30 kV；束流范围：10^-12 ～ 3×10^-6 A

图像放大倍数：×40～×300,000；

波谱(WDS)系统：五道谱；元素范围：⁴Be - ⁹²U；分辨率Mn K 优于9 eV；

能谱(EDS)系统：(ELECT SUPER,70 mm², EDAX Inc. USA), 电制冷型（无需液氮，随时可用）；元素范围: ⁴Be - ⁹²U；分辨率Mn K 优于129eV

（1）微区的表面形貌分析：包括二次电子SEI、背散射BSE、拓扑TOPO以及阴极发光CL图像；

（2）微区成分准确定量分析：波谱分析精度好于1%(主元素, 含量＞5%)和5%(次要元素, 含量～1%)；元素的定性、线、面分布。

（3）适合块状、片状、颗粒状、薄膜状、纤维状样品微区（微米/亚微米区域）成分的定性和定量分析，可满足地质样品、光纤、微电子芯片、各类金属材料的分析要求。

校外，WDS/EDS/图像/元素面线分布，（700元/小时）；

校内，WDS/EDS/图像/元素面线分布，（420元/小时）；

校外，点分析（100元/点）批量样品定量分析（适用）；

校内，点分析（60元/点）批量样品定量分析（适用）；

前处理---喷碳（200元/次）；

前处理---喷Pt（100元/次）；

（1）送检样品应为干燥的固体、块状、片状、纤维状或粉末状，应有一定的化学、物理稳定性，在真空中及电子束轰击下不会挥发或变形；

（2）无磁性、放射性和腐蚀性；

（3）对于导电性差的样品，观察图像样品应预先喷金膜；定量分析的样品应预喷碳处理；

（4）异形块状样品请现场咨询。