扫描电子显微镜（SEM）

分辨率： 3 nm@ 30 KV，8 nm@ 3 KV

放大倍数：2 x– 1000,000 x（屏幕放大倍数）

加速电压：0.2-30 KV

探针电流：1 pA – 2uA

样品室： 内径230mm

样品台： 5 轴计算机控制优中心全自动马达驱动样品台X = 80 mm；Y = 60 mm；Z = 50mm；T = -80° - 80°；R = 360°连续旋转

能谱仪（EDS）

硅漂移（SDD）电制冷探测器，采用场效应管（FET）一体化集成设计的高速SDD芯片，30mm2有效面积，超薄窗设计，独立真空；

能量分辨率：在100,000CPS条件下Mn Ka保证优于129eV，轻元素分辨率：C-K/57eV, F-K/67eV；

元素分析范围: Be 4～Cf 98。

该电镜为钨灯丝扫描电子显微镜，能进行各种固态样品表面形貌的二次电子像、背散射电子像观察及图像处理。广泛用于金属材料、高分子材料、化工原料、地质矿物、生物学、医学、考古和文物鉴定分析。

该电镜上配有能谱仪（EDS），可用于表面的成分分析，可进行元素定量、定性分析，多元素面扫描和线扫描分布测量