扫描电子显微镜（SEM）
分辨率： 0.9 nm@ 15 KV 1.2 nm@ 1 KV
放大倍数：2 x– 2000,000 x（屏幕放大倍数）
加速电压：0.05-30 KV
探针电流：2 pA - 400 nA
样品室： 宽度340 mm x 深度 315 mm
样品台： 5 轴计算机控制优中心全自动马达驱动样品台X = 130 mm；Y = 130 mm；Z = 95mm；T = -60° - 90°；R = 360°连续旋转
无窗能谱仪（EDS）
采用无窗SDD硅漂移电制冷探测器，无需任何形式背散射电子过滤膜，彻底消除窗口材料对X射线的吸收，极大提高对轻元素的分析能力和元素分析范围，探测器采用椭圆形设计，有效晶体面积100mm2，电子陷阱和准直器一体化，更加靠近样品，工作距离≤5mm
具备元素spectrum Live实时刷新显示功能：可实时观测样品区域变化或者形态转变时，谱图spectrum的动态变化过程
Ultim Extreme 采用AztecLive软件，具备元素面分布Live实时刷新显示功能功能，可实时观测样品区域变化或者形态转变时，Mapping的动态变化过程
电子背散射衍射附件（EBSD）
高速低噪音CMOS相机，分辨率1244*1024
EBSD在线解析标定速度3000pps，此时花样分辨率仍能保持为128*156。电子图像分辨率高达8192*8192，EBSD面分布图分辨率高达4096*4096，取向精度优于0.05度； | 
