加速电压：200KV，高分辨极靴（HR），点分辨率：0.23nm,线分辨率：0.14nm，放大倍率：50~1500,000。样品倾斜：±30°

样品的形貌观察、电子衍射分析、微区成分分析。

*. Gatan 832 CCD相机：可将图像数字化存贮、处理。

*. EDAX 能谱仪：配备的EDAX Genesis 能谱仪能从B到U元素成分分析，能量分辨率136eV。

*. 单倾样品台，双倾样品台和多样品台。

校内：形貌280元/小时，能谱350元/小时；

校外：形貌400元/小时，能谱500元/小时。