在材料分析表征中，透射电镜（TEM）已经成为了不可或缺的实验工具。并且随着研究的深入，科研工作者们对电镜的分辨率有了更高的要求，与此同时，众多显微镜学家和工程师也一直在追求电镜分辨率的改善。日本电子（JEOL）通过结合像差校正技术，成功实现了透射电镜的超高分辨率，并推出了拥有原子分辨率的JEM-ARM300F（GRAND ARM）系列透射电镜，旨在实现同类最佳的分辨率。

该系列的JEM-ARM300F2型透射电镜搭载了诸多功能，主要特色有：

1、新型的优化物镜极靴FHP2提供了更高的X射线探测效率，保证超高空间分辨率观察的同时，满足了大尺寸双SDDs（158mm²）的需求，使得X射线有效检测效率提高了两倍以上，实现亚埃级分辨率的EDS元素面分析。

2、全封装外壳。该型号采用箱式外壳，可减少温度、气流、噪声等环境变化的影响，从而提高显微镜的稳定性。

3、JEOL开发的球差(Cs)校正器已整合到显微镜柱中，提供超高的空间分辨率。300kV时的STEM分辨率达到参数要求的53pm，80kV时可以达到96pm。

4、配有冷场发射电子枪（Cold-FEG），使得电子源扩散的能量较小。

5、搭载ETA校正器和JEOL COSMO系统，能够快速准确的像差校正。

自该系列发布以来，JEM-ARM300F2球差电镜不断刷新分辨率的极限，已获得STEM模式下40.5pm的超高分辨率。

资料来源：日本电子株式会社 http://www.jeol.com.cn