Gemini 500
德国Carl·Zeiss卡尔蔡司公司
尖端科技楼101D
李昕翼
蔡司:
分辨率: 0.5nm@ 15 KV0.9 nm@ 1KV 1.0nm@ 0.5 KV
放大倍数:50 – 2000,000 x
加速电压:0.02-30 KV探针电流:3 pA - 20 nA
样品室: 330 mm (φ) x 270 mm (h)
样品台: 5 轴优中心全自动X = 130 mm;Y = 130 mm;Z = 50mm;T = -4° - 70°;R = 360° 连续旋转