扫描电子显微镜（SEM） 分辨率： 0.6 nm@ 15 KV 0.9 nm@ 1 KV STEM探测器分辨率：0.5 nm @30kv 放大倍数：2 x– 2000,000 x（屏幕放大倍数） 加速电压：0.2-30 KV 探针电流：2 pA - 400 nA
离子枪 SEM-FIB 重合点的统计学分辨率≤2.5nm@30kv 离子枪加速电压0.5-30kv 离子枪探针电流：1pA-100nA
样品台 样品室： 宽度340 mm x 深度 315 mm 样品台： 5 轴计算机控制优中心全自动马达驱动样品台X = 130 mm；Y = 130 mm；Z = 90mm；T = -60° - 90°；R = 360°连续旋转
能谱仪（EDS） 能谱探测器：SDD电制冷能谱仪，采用Si3N4新型探测器窗口，坚固耐用，晶体有效活区面积70 mm2，X射线信号透过率比传统的聚合物材料提高35%以上； 分析元素范围：Be4~Am95 能量分辨率 (Mn-Ka)：优于127eV, 严格依照ISO15632国际标准测量 |
